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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics. B, Nanotechnology & microelectronics

New York, NY : AIP Publishing 2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-

ZDB-ID

3117331-7  

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal / publ. by the Society through the American Institute of Physics

Unterreihe

B, Nanotechnology & microelectronics : materials, processing, measurement, & phenomena

Körperschaft
Erschienen

New York, NY : AIP Publishing

Erscheinungsverlauf

2nd ser., Volume 28, Issue 1, (January 2010)-

Anmerkungen

Nebent.: Nanotechnology and microelectronics

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Standardnummern

Linking ISSN: 2166-2746

ISSN: 2166-2754

OCLC-Nr.: 1368589312

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache
Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

1256321184

Letzte Änderung

26-04-24

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http://avs.scitation.org/journal/jvb [Nationalkonsortium] 
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