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Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Bellingham, Wash. : Spie 1.2002-vol. 19, no. 4 (October 2020)

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ZDB-ID

2088795-4

Titel

Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS / Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers

Erschienen

Bellingham, Wash. : Spie

Erscheinungsverlauf

1.2002-vol. 19, no. 4 (October 2020)

Anmerkungen

Abweichender Titel: JM3

Hauptsacht. bis 5.2006: Journal of microlithography, microfabrication, and microsystems

Online-Ressource

Gesehen am 19.06.2023

Frühere/spätere Titel

Fortgesetzt durch: Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe, bis 5.2006: Journal of microlithography, microfabrication and microsystems (ISSN: 1537-1646)

Erscheint auch als Druck-Ausgabe, ab 6.2007: Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS (ISSN: 1932-5150)

Standardnummern

ISSN: 1932-5134

OCLC-Nr.: 1368107739

URL

https://ezb.ur.de/?2088795-4 [EZB]

https://www.spiedigitallibrary.org/journ... [Verlag]

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 004 Informatik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

023891769

Letzte Änderung

19-04-24

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Offenburg HS

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14.2015

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Rom Bibliotheca Hertziana MPI

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Rostock UB

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Saarbrücken MPI Informatik

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https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme]
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SPIE

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Bestand

[Zugang nur für lizenzierte Einrichtungen]

URL

http://nanolithography.spiedigitallibrar... [1.2002 -]

Bestand

1.2002 -
[Zugang nur für lizenzierte Einrichtungen]

URL

http://spiedigitallibrary.org/index.aspx [2009 -]

Stuttgart UB

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https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBS&owner... [Readme]
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