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Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal. B, Microelectronics and nanometer structures

New York : Published for the Society by the American Institute of Physics 2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)

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ZDB-ID

3117333-0

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; an AVS journal

Unterreihe

B, Microelectronics and nanometer structures

Körperschaft

American Vacuum Society

Erschienen

New York : Published for the Society by the American Institute of Physics

Erscheinungsverlauf

2nd ser., Volume 9, no. 1 (Jan./Feb. 1991)-2nd ser., Volume 28, no. 1 (Jan./Feb. 2010)

Anmerkungen

Nebent.: Microelectronics and nanometer structures

Nebent.: JVST B

Online-Ressource

Frühere/spätere Titel

Fortsetzung von: [Journal of vacuum science & technology / B]

Fortgesetzt durch: Journal of vacuum science & technology. B, Nanotechnology & microelectronics

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe: [Journal of vacuum science and technology / B] (ISSN: 2166-2746)

Standardnummern

Linking ISSN: 1071-1023

ISSN: 1520-8567

OCLC-Nr.: 1368940278

URL

https://ezb.ur.de/?3117333-0 [EZB]

http://avs.scitation.org/journal/jvb [Verlag]

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik

Weitere Klassifikation(en):
Regensburger Verbundklassifikation (rvk): UA 4922

Schlagwörter:
Vakuumtechnik

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

1256321419

Letzte Änderung

26-04-24

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Heilbronn HSB

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2006 - 2009

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Jena ThULB

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Kiel UB

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Köln DLR Bibliothek

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Konstanz Universität KIM

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Magdeburg Med. ZB

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Marburg UB

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München MPIs Innovation/TaxLaw

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München PatAmt

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München UB LMU

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München UBTU

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Nationalkonsort AIPJournals PR

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9.1991 - 28.2010,1
[Der Online-Zugriff wird im Rahmen eines Nationalkonsortiums durch die Technische Informationsbibliothek (TIB) organisiert]

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Neubiberg UniBundeswehr

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Oberwolfach Math. FI

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http://mfo.hh-han.com/ezb/start?ezbid=74... [Volltext]

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Regensburg UB

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Rom Bibliotheca Hertziana MPI

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Saarbrücken INM WGL

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Saarbrücken MPI Informatik

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https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme]
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme]
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Saarbrücken SULB

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Tübingen UB

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Würzburg UB

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17.1999 - 28.2010,1

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Zwickau HS

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