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Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology : JM3

Bellingham, WA : Spie Vol. 20, no. 1 (January 2021)-

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ZDB-ID

3056313-6  

Titel

Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology : JM3

Erschienen

Bellingham, WA : Spie

Erscheinungsverlauf

Vol. 20, no. 1 (January 2021)-

Anmerkungen

Online-Ressource

Gesehen am 19.06.2023

Frühere/spätere Titel

Fortsetzung von:  Journal of micro/nanolithography, MEMS and MOEMS 

Standardnummern

ISSN: 2708-8340

OCLC-Nr.: 1368746285

URL

https://www.spiedigitallibrary.org/journ...  [Verlag] 

http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/...  [EZB] 

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau  ;  004 Informatik 

Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch 

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Online-Ausgabe

Erscheinungsfrequenz

vierteljährlich

IDN

1228839042

Letzte Änderung

19-06-23

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https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme] 
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https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=UBS... [EZB Link] 
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