Direkt zum Inhalt

Zeitschriften Datenbank

Inhalt

Neue Suche

Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics. B, Microelectronics processing and phenomena

New York, NY : Inst. 2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990

Diesen Titel auf die Merkliste setzen
Optionen
ExportierenMARC21xmlJSON-LDTurtleRDF/XMLFeedback
Bestellen
Mehr Titelinformationen
ZDB-ID

1475429-0  

Titel

Journal of vacuum science & technology : JVST ; the official journal of the American Vacuum Society / publ. by the American Institute of Physics

Unterreihe

B, Microelectronics processing and phenomena

Körperschaft

American Vacuum Society 

Erschienen

New York, NY : Inst.

Erscheinungsverlauf

2. Ser. 1.1983 - 2. Ser. 8.1990

Anmerkungen

Abkürzungstitel: JVTBD9

Abkürzungstitel: J. Vac. Sci. Technol. B

Online-Ressource

Gesehen am 15. Dezember 2016

Frühere/spätere Titel

Vorg.:  Journal of vacuum science & technology 

Fortgesetzt durch:  Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures 

Andere Ausgaben

Erscheint auch als Druck-Ausgabe:  [Journal of vacuum science and technology / B]  (ISSN: 2166-2746) 

Erscheint auch als CD-ROM-Ausgabe:  [Journal of vacuum science & technology / A & B] 

Standardnummern

Linking ISSN: 0734-211X

ISSN: 2327-9877

OCLC-Nr.: 1368160498

Coden

JVTBD9

URL

https://ezb.ur.de/?1475429-0  [EZB] 

http://avs.scitation.org/journal/jvb  [Verlag] 

Sacherschließung

DDC-Sachgruppen der ZDB: 530 Physik 

Weitere Klassifikation(en):
Systematik der TUB München (stub): ELT 279z ; PHY 101z

Schlagwörter:
Halbleitertechnologie ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Dünnschichttechnik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Vakuumphysik ; Zeitschrift ; Online-Ressource
Erscheinungsform

Zeitschrift

Sprache

Englisch 

Erscheinungsland

Vereinigte Staaten, USA, United States 

Medientyp

Online-Ausgabe

IDN

019684703

Letzte Änderung

16-04-24

SchließenxKostenpflichtige Dokumentlieferdienste: Lieferung von Aufsatzkopien und Druckausgaben zur Ausleihe
Bitte beachten Sie: Die ZDB bietet lediglich den Link zum Bestellsystem und übernimmt keinerlei Gewähr für eine erfolgreiche Bestellung. Richten Sie Fragen bitte ausschließlich an die Auskunft Ihrer Heimatbibliothek. Bitte beachten Sie die Bedingungen der einzelnen Anbieter.

Bestand filtern

Bestand filtern
Bestand filtern

Erscheinungsjahr

Fernleihregion

Ort der Bibliothek

Titel exportieren
Schließen x
Vorschau
Sortierung
Alle Bestände anzeigen
Deggendorf THD -HB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-1050]
Bestand
Bestand
2010 -
Verfügbarkeit
Die letzten 12 Monate sind nicht zugänglich
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=FHD... [EZB Link] 
https://search.ebscohost.com/direct.asp?... [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Einzellizenz. - kostenpflichtig
Bestand
1983 - 1990
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=FHD... [EZB Link] 
https://search.ebscohost.com/direct.asp?... [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Einzellizenz. - kostenpflichtig
Florenz Kunsthist. Inst.
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, DE-Y3]
Bestand
Bestand
1.1983 - 8.1990
URL
http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/... [EZB Link] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Konsortiallizenz. - kostenpflichtig
Heilbronn HSB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAW, DE-840]
Bestand
Bestand
2010 -
Verfügbarkeit
Die letzten 12 Monate sind nicht zugänglich
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=FHH... [EZB Link] 
https://www.redi-bw.de/db/ebsco.php?db=a... [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Einzellizenz. - kostenpflichtig
Bestand
1983 - 1990
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=FHH... [EZB Link] 
https://www.redi-bw.de/db/ebsco.php?db=a... [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Einzellizenz. - kostenpflichtig
Ilmenau UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[THU, DE-Ilm1]
Bestand
Bestand
lizenziert: 1.1983,1 - 8.1990
[Campuslizenz TU Ilmenau]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie (nur Inland)
URL
http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/... 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenlos mit Druckausgabe
Bestand
lizenziert: 1.1983,1 - 8.1990
[Campuslizenz TU Ilmenau]
Fernleihe
ja, nur Papierkopie (nur Inland)
URL
http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/... 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig
Karlsruhe KIT-Bibliothek
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAW, DE-90]
Bestand
Bestand
1.1983 - 8.1990
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=KIT... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=KIT&owner... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=KIT&owner... [Readme] 
https://avs.scitation.org/toc/jvb/curren... [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig
Kiel UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[HAM, DE-8]
Bestand
Bestand
lizenziert: 1.1983,1 - 8.1990
Fernleihe
ja, nur Papierkopie (nur Inland)
URL
http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/... 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig
München MPIs Innovation/TaxLaw
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-M382]
Bestand
Bestand
1.1983 - 8.1990
URL
http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/... [EZB Link] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Konsortiallizenz. - kostenpflichtig
München UBTU
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAY, DE-91]
Bestand
Bestand
1.1983,1 - 8.1990
Fernleihe
ja, nur Papierkopie (nur Inland)
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=TUM... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=TUM&owner... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=TUM&owner... [Readme] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig
Nationalkonsort AIPJournals PR
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[ANL, ZDB-1-AIPO]
Bestand
Bestand
1.1983 - 8.1990
[Der Online-Zugriff wird im Rahmen eines Nationalkonsortiums durch die Technische Informationsbibliothek (TIB) organisiert]
URL
http://avs.scitation.org/journal/jvb [Nationalkonsortium] 
Rom Bibliotheca Hertziana MPI
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[WEU, DE-Y2]
Bestand
Bestand
1.1983 - 8.1990
URL
http://www.bibliothek.uni-regensburg.de/... [EZB Link] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Konsortiallizenz. - kostenpflichtig
Saarbrücken MPI Informatik
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAW, DE-Sa18]
Bestand
Bestand
1.1983 - 8.1990
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=MPI... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=MPII&owne... [Readme] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Konsortiallizenz. - kostenpflichtig
Stuttgart UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAW, DE-93]
Bestand
Bestand
1.1983,1 - 8.1990
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=UBS... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBS&owner... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBS&owner... [Readme] 
http://avs.scitation.org/toc/jvb/current [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig
Tübingen UB
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[BAW, DE-21]
Bestand
Bestand
1.1983,1 - 8.1990
Fernleihe
ja, nur Papierkopie (nur Inland)
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=UBT... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBTUE&own... [Readme] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=UBTUE&own... [Readme] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig
Zwickau HS
Link zur Standortkarte mit weiterführenden Bibliotheksinformationen[SAX, DE-Zwi2]
Bestand
Bestand
1.1983,1 - 8.1990
URL
https://ezb.ur.de/detail.phtml?bibid=WHZ... [EZB Link] 
https://ezb.ur.de/ReadMe?bibid=WHZ&owner... [Readme] 
https://pubs.aip.org/avs/jvb [Volltext] 
Lizenzinfomationen
Volltext online und Druckausgabe. - Einzellizenz. - kostenpflichtig