Jahresbericht / HSG-IMAT, Hahn-Schickard-Gesellschaft, Institut für Mikroaufbautechnik, Universität Stuttgart mit IFM, Universität Stuttgart - Institut für Mikroaufbautechnik; Universität Stuttgart Institut für Zeitmeßtechnik, Fein- und Mikrotechnik; Universität Stuttgart Institut für Mikrointegration (Stuttgart Inst. für Mikroaufbautechnik, 2005)
Ersch. jährl.
Urh. anfangs: IZFM
101b!(02-06-15)
Keywords: Zeitschrift